Úvodní stránka >> Výrobci >> Agilent technologies >> Laserová interferometrie >> Laserový interferometr
Laserový interferometr
Široké spektrum nabídky optiky a laserových hlav od firmy AGILENT vám dává maximální konstrukční flexibilitu, která vám umožní dosahovat požadovaný výkon.
Kromě širokého spektra běžné optiky poskytuje více osová optika interferometru nové možnosti pro konstrukci systémů s mimořádně přesným nastavením polohy. Několik laserových hlav představuje různé velikosti a rychlosti osy, což umožňuje jednoznačně splnit vaše požadavky. Dálkové přijímače s čidlem s optickým vláknem umožňují maximální flexibilitu uspořádání a odstraňování disipačního tepla z elektroniky z oblasti měření a tím umožňuje dosažení vysoké opakovatelnosti měření. Dosažení vynikající opakovatelnosti měření napomáhá rovněž monitorování optické vlnové délky.
Laserové hlavy
K dispozici jsou čtyři laserové hlavy splňující požadavky na různou velikost, rychlost osy a rozhraní.
Laserové hlavy řady AGILENT 5517 poskytují široký výběr splňující požadavky na velikost a rychlost v konsistentním rozhraní. Model 5517A představuje základní laserovou hlavu. Model 5517B nabízí v malém pouzdře o 25 % větší rychlost osy. Modle 5517C nabízí ještě větší rychlost, a to o 75 % větší než u 5517A, Model 5517D nabízí nejvyšší možnou rychlost osy, přičemž je stejně velký jako 5517B.
Průměr standardního paprsku je 6 mm. U modelu 5517C jsou navíc k dispozici dvě varianty velikostí paprsku. Varianta 003 je zdrojem paprsku o průměru 3 mm a je určena pro použití s diferenciálními interferometry AGILENT 10719A a 10721A a s tříosým kompaktním interferometrem 10737L/R. Varianta 009 je zdrojem paprsku o průměru 9 mm a je určena pro použití s tříosé interferometry 10735A a 10736A. Větší průměr paprsku umožňuje u těchto interferometrů větší úhlový rozsah měření.
Dále je ještě k dispozici laserová hlava AGILENT 5501B, která nahrazuje předcházející laserovou hlavu 5501A v aplikacích, které vyžadují stejnou polarizaci, kabelové spojení a elektrický výkon jako 5501A. Model 5501B ve srovnání s předcházejícím typem 5501A rovněž nabízí lepší přesnost, spolehlivost a použitelnost.
Všechny laserové hlavy využívají osvědčenou laserovou trubici s vysokou životností s prokázanou průměrnou dobou mezi poruchami větší než 50 000 hodin provozu, čímž se z těchto zařízení stávají nejspolehlivější lasery daného typu, které existují.
Parametry Agilent 5501B a 5517A/B/C/D laserových hlav
| Parametr | hodnota |
|---|---|
| Type | Helium-Neon, Continuous Wave,Two-Frequency |
| Minimum Beam Power Output | 180 µW |
| Maximum Beam Power Output | 1 mW |
| Std. Beam Diameter | 6 mm (0.25 in) typical 5517C Opt 003:3 mm (0.125 in) 5517C Opt 009:9 mm (0.375 in) |
| Vacuum Wavelength Accuracy | (3 o, lifetime) ±0.1 ppm (±0.02 ppm with factory calibration to MIL-STD 45662) |
| Nominal Vacuum Wavelength | 632.991372 nm (5501B, 5517A/B) 632.991354 nm (5517C/D) |
| Vacuum Wavelength Stability (one hour) | ±0.002 ppm typical |
| Vacuum Wavelength Stability (lifetime) | ±0.02 ppm typical |
| Reference Frequency | 5517A: 1.5–2.0 MHz 5517B: 1.9–2.4 MHz 5517C: 2.4–3.0 MHz 5517D: 3.4–4.0 MHz 5501B: 1.5–2.0 MHz |
Safety Classification: Class 2 Laser Product conforming to U.S. National Center for Devices and Radiological Health Regulations 21 CFR 1040.10 and 1040.11.
Měřicí optika - interferometry
Široký výběr optiky umožňuje maximální flexibilitu měření. Pokud není uvedeno jinak, veškerá optika je navržena pro průměr paprsku 6 mm nebo menší.
Lineární interferometr AGILENT 10702A je základní interferometr pro lineární měření, zatímco malý jedno paprskový interferometr 10705A je konstruovaný pro použití ve stísněných prostorách. U měření systémů s více osami se běžně používají interferometry s rovinným zrcadlem, jako je např. AGILENT 10706B. Interferometr s vysokou rozlišovací schopností a s rovinným zrcadlem 10716A má pro většinu aplikací dvojnásobnou rozlišovací schopnost než 10706B. S těmito interferometry s rovinným zrcadlem lze pro jednoosá měření používat rovinné odrazové zrcadlo 10724A.
Diferenciální interferometry AGILENT jednoosý 10719A a dvouosý 10721A jsou konstruovány tak, aby se optimalizovala přesnost a opakovatelnost výrobních zařízení pro integrované obvody tím, že se poloha destičky bude přímo vztahovat ke stojanu optiky.
Tříosé interferometry AGILENT 10735A a 10736A provádějí současně tři měření (lineární, vychýlení a sklon) pro přesná umístění polohy destičky u výrobního zařízení pro integrované obvody a jiné přesné konstrukční aplikace. Zařízení pro měření vlnové délky AGILENT 10717A monitoruje změny indexu lomu vzduchu, aby bylo možné provést optickou kompenzaci změn prostředí (viz. strana 22).
Měřicí přijímače
Pro dosažení maximální flexibility konstrukce a maximální výkonnosti systému, jsou k dispozici dva různé měřicí přijímače. Pro každou měřicí osu je nutný jeden přijímač (včetně zařízení pro sledování vlnové délky). AGILENT 10780C poskytuje nejvyšší možnou citlivost při nízkých nákladech. 10780F má mírně horší citlivost, ale může zdokonalit výkonnost systému tím, že vám umožňuje namontovat elektroniku přijímače s disipací tepla mimo prostor měření. Tím se získá vyšší stabilita měření a vyšší výsledná přesnost a opakovatelnost. Optický kabel použitý pro připojení dálkového snímače k elektronice přijímače usnadňuje flexibilitu konstrukce a umožňuje snadný přístup k nastavení zesílení přijímače.
10780C Receiver and 10780F Remote
| Parametry | hodnoty |
|---|---|
| Typical Power Requirements | +15 volts at 136 mA |
| Maximum Sensitivity | 1.5 µW (10780C) 2.2 µW (10780F with 2-m cable) (10780F becomes 5.0 µW with a 10-m fiber cable.) |
| Heat Dissipation | 0.0 W for remote sensor 2.0 W typical for receiver |
| Output Signal | Differential square wave at Doppler-shifted split frequency (100 kHz to 7.2 MHz). |
| Fiber-optic Cable Length (10780F) | 2 m standard 10 m maximum recommended |
| Alignment Tolerances | Roll: ±3 degrees Pitch: ±1 degree Yaw: ±1 degree (10780F is self aligning when mounted to the 10715A, 10716A, 10717A, 10719A, 10721A, 10735A, and 10736A.) |
| Weight | 136 g (4.8 oz) for 10780C 126 g (4.5 oz) for 10780F 26 g (0.9 oz) for remote sensor with 2-m cable |
Elektronické konstrukční prvky variabilního systému
AGILENT nabízí kompletní a nejmodernější elektroniku pro vysoce výkonné laserové interferometry, která je použitelná pro 32-bitovou průmyslovou standardní sběrnici VMEbus. Mezi výrobky patří dvě karty osy laseru, které měří pohyb systému, značně flexibilní karta kompenzace laseru, která zahrnuje faktory prostředí ovlivňující měření, a speciální přijímač určený pro nejnáročnější měření pohybu systémů s rozlišením v dílcích nanometru.
Mezi typické aplikace pro seřizovací systémy založené na VMEbus patří výrobní zařízení pro integrované obvody (krokovací zařízení pro destičky, krokové skenovací nástroje a litografické systémy), přesné CNC obráběcí a souřadnicové stroje a zákaznické systémy. Přesnost a správnost měření polohy mají pro provoz těchto systémů mimořádný význam. Systém pro nastavení polohy laserového interferometru, pokud je vestavěný do těchto typů zařízení, měří polohu a kontroluje pohyb základny s větší přesností než to umožňuje jakákoliv jiná metoda.
Odkazy
Soubory ke stažení
au_2010-05_rozhovor.pdf (466kB)
Příběh firmy UZIMEX PRAHA, spol. s r.o.
Čtvrtý díl seriálu Vyprávějte příběh své firmy je věnován firmě UZIMEX PRAHA, spol. s r. o., která je čtenářům Automy známa hlavně jako dodavatel motorků Maxon, jež se osvědčily mimo jiné ve vesmírných misích na Mars. Vyprávění jednatele firmy Romana Kříčka doplňoval svými postřehy jeho syn Roman Kříček mladší, zodpovědný za logistiku a finanční řízení firmy.
Vydavatel: Automa
Výrobci: Sopap
, Gates
, StS Coupling
, Nippon bearing
, Agilent technologies
, Raytec system ag
, DIAVITE AG
, UZIMEX PRAHA
tt_2009-17.pdf (466kB)
Špičkové technologie do automatizace a robotizace.
Vydavatel: Technický týdeník
Výrobci: Sopap
, Gates
, StS Coupling
, Nippon bearing
, Agilent technologies
, Raytec system ag
, DIAVITE AG
, UZIMEX PRAHA
tt_2008-17.pdf (1.71MB)
Špičkové technologie do automatizace a robotizace.
Vydavatel: Technický týdeník
Výrobci: Sopap
, Gates
, StS Coupling
, Nippon bearing
, Agilent technologies
, Raytec system ag
, DIAVITE AG
, UZIMEX PRAHA
Související novinky
(01.09.14)
Nabídka zaměstnání
Hledáme vhodného adepta pro obchodně - technickou činnost
Hlavní náplní práce je technická činnost, zahrnující výpočty, návrhy, vytypování el. pohonů, řemenových převodů, vačkových mechanismů a dalších produktů od zahraničních…… více
